该厂为8屏幕尺寸晶圆有线配备的超净水系统，每天都在有含硅废污水150吨。废污水里面虽无天价属，但硅含锌量高易水垢，且电阻功率率需达成18MΩ·cm才华回收利用。改变清理工学艺不能实现新公布的《微电子工业园水被污渍摆放规范标准》（GB39731-2020）尤为摆放限制值。 生活污水成份作用 大部分环保问题物 ：胶体溶液硅（200-300mg/L）、粒状硅（比表面积0.1-1μm） 独特想要 ：TOC<10μg/L，硼含锌量<5μg/L 水体质量因素 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅有机化合物社会形态繁杂 操作艺标准流程 不断创新采用了"梯级膜分开+电去铝离子"组合式加工过程： 微滤预外理 ：1μm瓷砖膜电话拦截大小粒硅，通量维护80LMH 阴离子互换环氧树脂 ：D201大孔树脂胶选定性气体吸附硅酸碳原子 二级考试RO系统性 ：第一个段回收分类处理率60%，其次段使用高脱硼膜组件 EDI电去铝离子 ：电流值硬度2A/m²，一直洗去残余物铝离子 红外光谱消菌 ：254nmUV直射线极量40mJ/cm² 技術短板 开拓专用的阻硅剂（有机会胺类包覆物），廷缓膜严重污染频次3倍 EDI电源模块改革创新流道结构设计，硅的还原率优化至99.8% 再线硅讲解仪（測量範圍0.1-500μg/L）推动精准定位管控 作业举措 经再者方检侧： 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼硫含量从8μg/L降到0.3μg/L 系统性收购 率从原40%加强至68% 膜变更周期时间提高至5年，年行驶直接费用影响35%