某半导体器件IC芯片生产制造商在晶圆治理 环节中,适用硅烷开展硅本质生张,空气洗涤剂塔产生高密度含硅污水。污水享有pH起伏大(2-11)、硅硫含量高的优缺点,民俗治理 方式 易产生硅垢短路困难。
电镀废水成分表及主要来源
生活污水主要的基本成分为:
溶解出来性硅酸盐
:SiO₂溶度达1000-1500mg/L
硫酸钠/氢防氧化钠
:洗衣剂塔酸碱度洗衣剂液残留物
科粒硅
:奈米级SiO₂橡胶胶体部分
痕量砷
:成分悬浮物带
操作的工艺具体流程
科技创新采取"二级与+膜过虑+化掉晶体"加工过程:
二级结合
:用CaO调整pH至4-5,转成硅酸钙滤渣,硅剔除率60%。
二级考试采和
:加Na₂CO₃将pH优化至9,逐步骤悠长岁月中剩于硅,串连用镁剂除砷。
反渗透装置模式
:0.02μm陶瓷制品膜净化纳米级级硅小粒,通量安全在80LMH。
MVR挥发器
:提液高盐废气,沉淀出Na₂SO₄副设备,水回收利用率超90%。
进而感觉
总硅从1500mg/L下降5mg/L这
砷含铁从0.8mg/L低于0.01mg/L
控制系统无积垢正常运行超出2年
第二年再利用氢氧化钠钠晶胞约800吨