某半导打造客户因晶圆除垢步骤出现含氨生产废水，出水量200吨/天。生产废一般的水都除高锰酸盐指数外还具有氟化物和微量分析血本属，治理 難度大。本地直接排放原则规范高锰酸盐指数＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废渣因素及来原 晶圆清洁工作电镀废水（主要的来源于）：含高锰酸盐指数200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀繁琐流程化工废水：含少量铜、镍等天价属，pH值下降大 CMP精磨生产废水：含硅粒子及氧化还原电位 解决工序注意事项 适用"耐腐蚀沉垫+膜拆分+折点氯化"乐队组合加工： 预处里 ：污泥脱水CaCl2除氟，控制pH在7.5-8. 反渗透装置体系 ：弄掉0.01μm这粉末物 反渗透设备性沉淀 ：将挥发酚浓缩液至1000mg/L上面的 折点氯化 ：准确控制氯加药量，将氟化物还原成为离氮气 阴阳离子相互交换 ：质量保障血本属标准 最中治疗效果 化学需氧量稳固＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 血本属含氧量远低于论文检测限 水造纸废水处理率达75% 废水带来量降低40%